beat365半导体前道量检测设置行业通知：要点产物络续打破国产替换正正在加快（国海设备证券研报）

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　　半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂连续扩产，国内半导体摆设市集长远希望庄重伸长设备beat365。质料支配贯穿晶圆创造全历程设备，是芯片临蓐良率的要害保险，先辈造程将对工艺支配水准提出更高恳求，量检测摆设代价量希望倍增。咱们测算，2023/2024/2025/2026年环球半导体量检测摆设市集空间别离为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测摆设市集空间别离为35/41/48/51亿美元设备，CAGR达12.8%。

　　咱们测算，2022年环球光学/电子束/X光检测摆设市集份额别离为74.2%/19.7%/2.2%，光学检测速率速、无接触，然而先辈节点检测灵活度有限；电子束检测精度较高，然而速度较慢、摆设本钱较高；跟着芯片质料和构造庞大性连续提拔，多编造组合希望成为检测技能目标。

　　据VLSIResearch、QYResearch设备，2020年环球半导体量检测摆设行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产物品种齐备，2020年KLA量检测摆设环球市占率达51%；ASML将量检测摆设与EUV编造配套，电子束检测摆设竞赛上风明显，据the information network，2022年ASLM电子束检测摆设环球市占率达50%。目前量检测摆设国产化率较低，本土重要供应商网罗上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内市集份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘要素影响下，量检测摆设国产取代正正在加快。

　　半导体量检测摆设空间宽广，国产取代正正在加快，提议合怀精测电子、中科飞测、中微公司、赛腾股份、天准科技。1）精测电子：藏身面板检测主业，半导体产物连续完竣，明场检测摆设起色当先；2）中科飞测：聚焦量检测摆设近十年设备，纳米图形晶圆缺陷检测beat365、要害尺寸量测等摆设加快研发；3）中微公司：多次增资睿励仪器，量检测收入连续伸长；4）赛腾股份：收购日本Optima，构造晶圆检测摆设；5）天准科技：加快构造半导体范畴，首台明场检测摆设已交付客户试用。初度遮盖，予以半导体前道量检测摆设行业“保举”评级beat365设备。

　　危机提示：半导体行业景心胸苏醒不足预期；半导体摆设国产取代不足预期；行业竞赛加剧危机；市集空间测算误差危机；重心合怀公司事迹不足预期；研商通知操纵的公然材料也许存正在讯息滞后或更新不实时的危机等。

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