beat365设备首台国产12寸Online表延膜厚量测配置即将交付

　　beat365亚洲体育在线继向多家客户批量交付8、6寸（硅/碳化硅）表延膜厚量测修筑后，岁首又与国内着名头部晶圆临盆企业签署12寸Online表延膜厚量测修筑订单。即日，盖泽半导体发表，由公司自决斥地的，12寸量测修筑GS-A12X即将交付。该修筑为国内首台12寸Online表延膜厚量测修筑，

　　晶圆造备包蕴了衬备和表延工艺两大症结，表延是指正在单晶衬底上滋长一层新单晶的历程。表延工艺可以受到各式条目成分影响映现厚度不均的景况设备，如衬底温度、反响腔气压设备、反响滋长物及晶圆片表貌洗涤历程等。假使表延厚度不均位于晶圆片表貌造造晶体管器件的有源区域，将导致器件失效。于是晶圆正在通过表延工艺造备后，操纵膜厚衡量修筑对表延的厚度匀称性举办衡量尤为紧急beat365。

　　GS-A12X操纵了行走轴双臂洁白呆板手，同时衡量单位操纵全新计划的Stage平台，可挑选吸附或者夹持式样设备，更大水准上兼容客户使用场景，双臂呆板手和Stage的配合，使得GS-A12X衡量功用进步起码30%；气浮平台的计划使用淘汰了颠簸对付衡量的影响，使得衡量数据尤其太平；GS-A12X修筑集体操纵模块化计划设备，淘汰了斥地周期，进步了装置功用，缩短了修筑的维持时代，定造化计划让GS-A12X更懂客户。

　　该修筑基于FTIR红表光谱技能，能够正在线监测晶圆表延创设历程中的及时数据，并供应高精度的测试结果。其闭键特色征求以下方面：

　　高效火速：采用火速扫描技能beat365，可以正在短时代内取得高精度的测试数据，进步临盆功用；

　　非侵入式检测：采用红表光谱技能，不会对晶圆形成任何毁伤和影响，保障测试数据的确牢靠；

　　数据阐述：修筑自带数据阐述软件，能够告竣数据可视化beat365，帮帮用户更好地舆会晶圆的机能和性格；

　　本次交付的修筑补充了Online正在线技能。该修筑从命SEMI圭臬订交，可无缝毗邻客户OHT/MES等体系。同时，修筑告竣检测自愿化掌管，具备智能化掌管和自愿化运转效力，低重人力本钱，进步临盆功用。

　　比拟6、8寸晶圆量测修筑，12寸晶圆量测修筑正在自愿化、通信、算法等多个方面都必要更高的技能援救，全新推出的GS-A12X修筑粉碎专业壁垒，操纵更前辈的检测技能，满意晶圆厂对12寸大尺寸晶圆的检测需求，帮帮晶圆厂降本增效。

　　近年来，国度层面永远固执地夸大集成电途财富的紧急性和财富链自决可控的须要性，并从战略和市集两方面激动行业繁荣，半导体财富本土化已成为趋向。盖泽半导体专心于半导体前道量测修筑的研发及使用，赋能中国半导体行业智能创设。beat365设备首台国产12寸Online表延膜厚量测配置即将交付